機器の配置図

共用システム機器一覧

• 共用システム機器一覧

共同研究室5

1. 1. 集束イオンビーム装置
2. 2. 走査型電子顕微鏡
3. 3. 卓上走査顕微鏡
4. 4. デジタルマイクロスコープ
5. 5. ナノ粒度分析装置
6. 6. 高速イメージング顕微ラマン分光システム
7. 7. PLラマン分光装置

共同研究室 バイオ実験室

1. 8. 正立共焦点顕微鏡

LSI工場（VBL1F）

1. 9. EB描画装置
2. 10. i線ステッパ
3. 11. i線用レジスト塗布・現像装置
4. 12. 測長走査型電子顕微鏡
5. 13. 酸化・アニール炉
6. 14. LPCVD装置
7. 15. イオン注入装置
8. 16. マルチターゲットRF/DCスパッタ装置
9. 17. AIスパッタ装置反応性イオンエッチング装置
10. 18. レジスト塗布両面アライナ
11. 19. Siエッチング装置
12. 20. プラズマCVDレジストアッシング装置
13. 21. マルチターゲットRFスパッタ装置
14. 22. Si深掘りエッチング装置Deep-RIE
15. 23. 反応性イオンエッチング装置
16. 24. 反応性イオンエッチング装置（MEMS用）
17. 25. Siウェハ用レーザーダイシング装置
18. 26. 温度可変プローバ・計測器システム
19. 27. 光干渉膜厚計
20. 28. 集束イオンビーム加工装置
21. 29. ワイヤーボンダー（Au）