電気・電子情報工学系機能性材料科学研究室http://ion.ee.tut.ac.jp/研究者情報：https://researchmap.jp/read-0212452実用化イメージ、想定される用途・光メモリー・ホログラム記録・液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ・波長多重光通信・マイクロチップ・化学センサ企業等への提案この技術にご興味をお持ちの企業の技術相談や、共同研究等をご検討の際にはご連絡ください。実用化に向けた課題・用途開発・高精細化(ナノレベルピッチ制御)・高精度化(焦点距離、回折角ばらつき低減)・耐熱・耐薬品性優位性・大面積化が容易です。・装置の低コスト化が図れます。・複雑形状が作製できます。−011−キーワードマイクロオプティクス、マイクロ・ナノパターニング、 微小光学素子、マイクロレンズアレイ、回折格子、 ホログラムメモリー研究段階基礎実証実用化準備加工・処理無機有機ハイブリッド膜の微細パターニングへの応用電気・電子情報工学系松田 厚範 教授概要未物性や形状を制御した機能性薄膜・微粒子の作製とその集積化プロセスは、将来の光機能素子、化学センサなどを構築する上で重要な技術です。機能性薄膜・微粒子の作製方法には、機来械的手法、気相法，液相法などがありますが、液相法の一つであるゾル- ゲル法によれば、ガラス、セラミックスに加えて、無機─有機複合体薄膜・微粒子を作製することができます。の従来技術・真空成膜技術機・フォトリソグラフィー・ダイレクトエッチング能特徴・無機-有機ハイブリッドゲル膜に型プレスを行い、型形状を転写するエンボス式微細加工法を性用いて、回折格子、マイクロレンズアレイなどを基板上に作製することに成功しています。・ハイブリッドの有機官能基の種類と濃度を最適化することにより、フォトリソグラフィーを可能にしたり、微細パターンの収縮率を低減したり、光透過率や屈折率などの光学性能や硬素度などの力学物性を制御することを検討しています。・メモリーデバイス、表示デバイス、通信微小光学素子、センサなどへの応用が期待されます。子を創ります
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