国立大学法人 豊橋技術科学大学 研究推進アドミニストレーションセンター

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文部科学省 先端研究基盤共用促進事業

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利用できる機器

機器の配置図

機器の配置図

共用システム機器一覧

共同研究室5

  1. 1. 集束イオンビーム装置
  2. 2. 高速イメージング顕微ラマン分光システム
  3. 3. 正立型共焦点顕微鏡
  4. 4. デジタルマイクロスコープ
  5. 5. ナノ粒度分析装置
  6. 6. 分光分析装置(PL RAMAN)

共同研究室2

  1. 7. 透過型電子顕微鏡

LSI工場(VBL1F)

  1. 8. EB描画装置
  2. 9. i線ステッパ
  3. 10. i線用レジスト塗布・現像装置
  4. 11. 測長走査型電子顕微鏡
  5. 12. 酸化・アニール炉
  6. 13. LPCVD装置
  7. 14. イオン注入装置
  8. 15. マルチターゲットRF/DCスパッタ装置
  9. 16. Alスパッタ装置反応性イオンエッチング装置
  10. 17. レジスト塗布両面アライナ
  11. 18. Siエッチング装置
  12. 19. プラズマCVDレジストアッシング装置
  13. 20. マルチターゲットRFスパッタ装置
  14. 21. Si深堀りエッチング装置Deep-RIE
  15. 22. 反応性イオンエッチング装置
  16. 23. 反応性イオンエッチング装置(MEMS用)
  17. 24. Siウェハ用レーザーダイシング装置
  18. 25. 温度可変プローバ・計測器システム
  19. 26. 光干渉膜厚計
  20. 27. 集束イオンビーム加工装置
  21. 28. ワイヤーホンダ(Au)

[初版作成]2017.09.31

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